日立、FE-SEMの新ブランド「Regulusシリーズ」発売 - 分解能と倍率向上

日立、FE-SEMの新ブランド「Regulusシリーズ」発売 - 分解能と倍率向上

画像提供:マイナビニュース

日立ハイテクノロジーズは、電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)の新ブランド「Regulusシリーズ」を5月30日より販売開始する。本シリーズはFE-SEMの新ブランドで、「SU8010」の後継機種として開発した「Regulus8100」と、プラットフォーム共通化により「SU8200シリーズ」の機能を拡張した「Regulus8220」「Regulus8230」「Regulus8240」の4機種をラインアップ。分解能と操作性を向上する機能強化を実現しているという。

走査電子顕微鏡は、ナノテクノロジー、半導体・エレクトロニクス、バイオロジー、材料などの分野で使用されている。近年、近世代エレクトロニクスデバイスへの応用が期待されているグラフェンなど新炭素材料や高分子材料、複合材料の研究が、先端科学技術を支える中核技術として世界中で進められている。

新ブランド「Regulusシリーズ」は、電子光学系の最適化により、照射電圧1kVでの分解能を従来機種から約20%向上させ、「Regulus8220/8230/8240」では0.9nm、「Regulus8100」では1.1nmまでの分解能を実現している。加えて、加速電圧での高分解能観察に最も適したコールドFE電子銃の特性を活かし、最大倍率を従来の100万倍から200万倍まで拡張することで、高い解像度でより細部まで拡大観察することが可能になった。その他、高い性能を十分に発揮するユーザーサポート機能も強化しているとのこと。

国内販売価格はどれも税抜きで、「Regulus8100」が7,000万円、「Regulus8220」が7,600万円、「Regulus8230」が8,200万円、「Regulus8240」が8,600万円の予定で、年間300台の販売を見込む。

本シリーズは、5月30日から6月1日まで、北海道札幌市にて開催される「第73回日本顕微鏡学会学術講演会」において、パネル展示を行うという。
(田中省伍)

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