オリンパス、MIX観察に対応した半導体・FPD検査顕微鏡「MX63/MX63L」発売

オリンパス、MIX観察に対応した半導体・FPD検査顕微鏡「MX63/MX63L」発売

画像提供:マイナビニュース

オリンパスは、科学事業の新製品として、半導体やFPD(フラットパネルディスプレイ)の検査用の工業顕微鏡「MX63 / MX63L」を、全世界で発売した。

同機器は、主に半導体やFPDなどのサイズが大きいサンプルの検査に特化した、工業用顕微鏡。MX63は200mm、MX63Lは300mmまでの大きさのウエハーに対応する。

MXシリーズとしてはじめて「MIX観察」対応ユニットを搭載し、従来の観察方法で見つけにくかった欠陥が検出可能になるほか、「暗視野観察」の専用照明は任意の4方向を選択できるため、対象物をより効果的に強調できる。

また、落射照明観察および透過照明観察の光源に、高輝度な白色LEDを採用。これにより、LEDの特徴である省電力・長寿命はもちろん、観察時の光源の明るさを変えても画像の色合いには影響されず、常に安定した画像を得ることができる。

さらに、サンプルへの衝突がなく、迷わずピント合わせが可能な「フォーカスエイド」機能を搭載。視野内に表示される格子パターンへピントを合わせればサンプルにもピントが合い、ベアウエハーやガラス、フィルムなどパターンがないサンプルで威力を発揮するうえ、誤ってサンプルを対物レンズと衝突することも防止できるという。

観察方法は、明視野、暗視野、MIX、偏光、微分干渉、蛍光、IR。光学系はUIS2光学系、透過/落射光源はLED光源。最大ストロークは「MX63」が210×210mm、「MX63L」が356×305mm。重量は「MX63」が約50kg、「MX63L」が約64kg。
(早川厚志)

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