SCREENセミコン、フットプリント半減・生産性1.5倍のウエット洗浄装置

SCREENセミコン、フットプリント半減・生産性1.5倍のウエット洗浄装置

画像提供:マイナビニュース

SCREENセミコンダクターソリューションズは、「コンパクトウェットステーション CWシリーズ」の最新機種として、従来モデルに比べて設置面積を半減させ、生産性を1.5倍まで高めたウエット洗浄装置「CW-2000」を開発し、7月10日より販売を開始した。

この装置は、同社が長年培ってきたバッチ式洗浄装置のノウハウを継承した、「コンパクトウェットステーション CWシリーズ」の最新機種。従来は半導体工場内のサブエリアに設置されていた薬液キャビネットや冷却ユニットなどの付帯設備を、本体内部にビルトインしたオール・イン・ワンコンセプトを採用することで、従来モデルと比べて半分という省スペースを実現している。

また、搬送機構の刷新により、1時間当たり標準で150枚、オプションのハーフピッチ仕様では最大300枚までのウエハー洗浄が可能となっている。さらに、目的や用途に合わせて処理槽数を選択できるため、フレキシブルで拡張性に優れ、研究開発から量産に至るまでの多彩なニーズに対応するということだ。

なお、同装置は、7月11日〜13日まで米国・サンフランシスコで開催されている「SEMICON West 2017」で紹介されている。
(早川厚志)

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