[Tech briefing]サムスンが韓国企業のＰＧＭＥＡをテスト中…ＥＵＶ用ＰＲ溶剤

■出所：ＴＨＥ　ＥＬＥＣ　２０２３年１１月１３日付

・サムスン電子の半導体事業を担当するＤＳ部門は、韓国企業ケムトロニクスが開発した「プロピレングリコールメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）」を使用しようとしている。

・ケムトロニクスが開発したＰＧＭＥＡは、高純度で人体に有害なベータ異性体がほとんどない”フリー”製品である。

・ＰＧＭＥＡは半導体生産工程で溶剤として使用され、露光工程、感光液、ＥＵＶ工程用ＰＲなどに活用される。

・現在はケムトロニクスが生産した高純度ＰＧＭＥＡをテスト中であり、品質テスト（クォール）に合格すれば、米国と日本企業の市場シェアも変化する見通しである。

・ケムトロニクスが開発したＰＧＭＥＡの特徴は、ベータ異性体含有量を低くして人体への有害性を最小限に抑えたこと。

・過去に白血病騒動（※半導体工場職員らが白血病を患い、最終的にサムスン側が謝罪・補償）サムスン電子だからこそ、「人体に有害な可能性がある」物質を生産工程で先制的に除去するという分析もある。

・一方、価格面ではベータ異性体含有量を下げることが工程時間とコストを増加させることもあり、サムスン電子の最終決定が注視される。